光学平台隔振效果

在前面的技术文章“关于光学平台的技术常识”中有讲到，一张光学平台（隔振平台）的隔振效果主要是由固有频率决定的，固有频率越低，系统的隔振性能就越好。那么固有频率值是如何得到的呢，下面就让我们看一看它的测试方法。

1.测试原理及测试方法

（1）固有频率测试

采用基于变时基技术的锤击法进行固有频率测试，台面布置响应传感器，利用力锤进行激励，采取力锤激励信号和响应信号；

通过力信号和响应信号进行传递函数分析得到其固有频率。

（2）台面振动幅值测试

在台面布置1个垂向传感器和2个水平传感器（长度方向和宽度方向各一个），测试台面振动速度，通过高精度波形AVD技术得到其台面振 动加速度和台面振动位移。

（3）隔振率测试

分别在地面及台面布置941低频速度传感器，测试地面和台面的振动速度；

通过地面和台面的振动数据做传函分析，得到隔振平台的隔振频带及隔振率。

2. 主要测试设备

（1）采集分析软件：DASPV11工程版平台软件

（2）硬件系统：

         采集仪：INV3062T云智慧采集仪

         激励：INVMSC-3中力锤

         响应：941型低频速度传感器

（3） 其他：笔记本电脑、连接导线、胶带等

图2-1 测试系统连接图

图2-2 待测隔振光学平台

3. 测试数据：

图3-1 OPF系列气浮光学平台

图3-2 OPP系列精密阻尼隔振光学平台

                                                                                                                          图3-3 OPD系列阻尼隔振光学平台

从以上测试数据可以得到我司几种隔振平台的固有频率：